仪器简介封面
| 场发射扫描电子显微镜 联系人：姜晓萍 地址：千佛山校区新材料研究所 一楼扫描电镜室 电话：15628987596 |
一、仪器名称
中文名称：场发射扫描电子显微镜
英文名称：Field Emission Scanning Electron Microscope
二、型号：JEOL JSM-7610F Plus
三、生产厂家：日本电子JEOL
四、仪器简介：
JSM-7610F Plus是用于纳米科学的肖特基场发射扫描电子显微镜，是一款采用半浸没式物镜、拥有超高分辨率的场发射扫描电子显微镜（分辨率：15kV/ 0.8nm、1kV /1.0nm），能观察微细结构。此外它还具备利用GENTLEBEAMTM（柔和电子束）模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。
ZEISS Gemini 500扫描电子显微镜是一台全功能的场发射扫描电子显微镜（FE-SEM），可以高分辨率、高衬度和高信噪比使用二次电子和背散射电子进行In-lens检测，即使要求苛刻的非导电样品也能获得清晰的图像，可对多种样品进行衬度和低电压成像。同时装有布鲁克X射线能谱仪，可广泛应用于微区形貌和成分分析。
五、仪器主要特点及技术指标：
1、电子枪： 浸没式肖特基场发射电子枪
2、透镜系统：聚光镜CL、光阑角控制镜ACL、半浸没式物镜OL
3、加速电压： 0.1~30 kV
4、探针电流： 1 pA ~ 200 nA以上
5、放大倍率：x25~1,000,000
6、二次电子像分辨率：
高加速： 0.8 nm@15.0 kV
低加速： 1.0 nm@1.0 kV (GB)
柔和电子束（GB）模式：GB模式可以在低加速电压下（最低100V）进行高分辨观察，可以直接观察非导电性样品。
7、样品台： 全对中测角样品台，5轴马达驱动
T:-5~ 70°（样品台倾斜） R:360°无限（样品台水平旋转）
8、电子检测器系列：高位检测器、r-过滤器、内置、低位检测器
9、自动功能：自动聚焦、自动消像散、自动亮度/衬度调节
六、仪器主要功能及其用途：
1、适用于各种材料，如纳米材料、陶瓷材料、金属材料、生物材料等表面形貌分析（需为非磁性样品），可观察材料形状、大小、表面、断面、粒径分布等。
2. 样品要求：粉末、块状、薄膜等无磁性干燥样品。
七、仪器图片
八、存放地点及联系人：
存放地点：千佛山校区新材料研究所一楼扫描电镜室
联系人：姜老师，15628987596